8 月 14 日消息，據(jù)杭州日報報道，位于杭州城西科創(chuàng)大走廊的浙江大學成果轉(zhuǎn)化基地傳來重大喜訊：全國首臺國產(chǎn)商業(yè)電子束光刻機“羲之”已進入應用測試，其精度與國際主流設(shè)備相當，標志著我國量子芯片研發(fā)領(lǐng)域迎來了具有自主知識產(chǎn)權(quán)的“中國刻刀”。

在測試現(xiàn)場，浙江大學余杭量子研究院的研發(fā)團隊正緊張地進行著各項測試工作。這臺外形類似大型鋼柜的設(shè)備，其電子顯示屏上實時顯示著各項參數(shù)。“這不是普通的機器，而是一支能在頭發(fā)絲上雕刻出整座城市地圖的‘納米神筆’！”團隊負責人表示，“羲之”是依托省重點實驗室自主研發(fā)的新一代 100kV 電子束光刻機，目前已正式投入市場。

“羲之”以東晉書法家王羲之的名字命名，其“毛筆”則是高能電子束，能夠在芯片上刻寫電路。該設(shè)備專攻量子芯片和新型半導體研發(fā)的核心環(huán)節(jié)，精度達到 0.6 納米，線寬 8 納米，且無需掩膜版即可靈活修改設(shè)計。這種靈活性使其特別適合芯片研發(fā)初期的反復調(diào)試，如同用納米級毛筆在芯片上精準作畫。

此前，由于國際出口管制，國內(nèi)頂尖科研機構(gòu)如中國科學技術(shù)大學、之江實驗室等長期無法采購此類設(shè)備。而“羲之”的成功落地，有望打破這一局面。據(jù)報道，“羲之”的定價低于國際均價，目前已與多家企業(yè)及科研機構(gòu)展開接洽。