在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域中，追求更高良率與更嚴(yán)苛的工藝控制時，實(shí)現(xiàn)大規(guī)模、高精度且穩(wěn)定可靠的溫度監(jiān)測是一大核心挑戰(zhàn)，但這一過程常飽受諸多痛點(diǎn)困擾?？堤┛税l(fā)布方案進(jìn)行針對性解決。