微米/納米技術(shù)依然廣泛應(yīng)用于從生物醫(yī)學(xué)工程到高精度制造的各個(gè)領(lǐng)域。其中很多應(yīng)用都需要通過3-D非接觸式光學(xué)計(jì)量工具在高度工程化的表面（例如涂層 、機(jī)械模型）上進(jìn)行精細(xì)的過程控制和驗(yàn)證。美國MKS集團(tuán)最近收購了Ophir Optronics 旗下的Optimet公司，大大提高了MKS為應(yīng)用于不同領(lǐng)域且功能各異的高性能3D表面計(jì)量系統(tǒng)提供硬件的能力。